十万级净化车间主要采用的回风方式包括：单侧墙下部布置回风口，当采用走廊回风时，在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部位置设置回风口，回风口的风速不得超过规定的速度。十万级净化车间主要采用的送风方式为局部孔板顶棚送风、带扩散板空气过滤顶棚送风和上侧墙送风等三种送风方式。
洁净密闭窗可根据用户的设计要求，采用R60或R44系列型材，制作成圆弧边框或三角边框。
洁净密闭灯分为普通型和应急型两种。通常采用双管形式。其中应急型在正常情况下也可以当普通型使用，在厂房突然断电的情况下，其可保持继续照明， 并且不需要单独供电系统。在用材上，洁净密闭等有不锈钢和烤漆型两种，面罩有透明和不透明之分。
净化车间的顶棚，墙面和地板的材料必须是不产尘、耐腐蚀、耐高温、不易破裂、不易产生静电，另外根据房间不同的工作条件要求不同的，还要根据实际情况进行选材。
想要保障净化车间的洁净度还要使用一些辅助设备：如净化车间入口的风淋室，物品传递使用的传递窗等。这些设备必须适合净化车间的净化要求，才能充分保障在使用的时候不会影响到净化车间，发挥到作用。
要使用防止静电(是一种处于静止状态的电荷)的材料，要根据企业预算选择适宜的材料，但防静电是基础。洁净室净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，（21世纪）在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用，并根据行业的精密与无尘要求，等级差别也较大。无尘车间目前级别的当属航天航空的航空仓，基本是属于1级，属于特殊领域，面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间，物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。